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To One氣浮隔振光學平臺(科研級)

適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

名稱:To One氣浮隔震光學平臺
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To One氣浮隔震光學平臺


To One氣浮隔震光學平臺.png

 

 

ZI-QF 科研氣浮隔振光學平臺(科研級)

應用領域: 

適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

 

產品特點: 

公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。 

優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。 

自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執行德國 FESTO 產品,標配進口無油壓縮機。 

臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點,上面板為 1cr17 優質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果, 面板具有M6螺紋孔陣列,易于固定光學元件。 

隔振支撐為優質鋼管焊接而成,整體堅固穩定。 

工作壓力為 0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。


技術指標

平面度:< 0.05mm/m2

◆M6螺紋孔/孔間距 25X25mm
表面粗糙度:< 0.8μm
固有頻率:X方向:1.0Hz~1.5HzY方向:1.0Hz~1.5Hz
減振效率:X方向< 5Hz :88%~94% Y方向<5Hz :86%~92%

            X方向<10Hz:92%~98% Y方向<10Hz:90%~95% 

振幅:< 1μm 

荷載能力:800kg/m2 

重復定位精度:±0.05mm 

 

產品型號:(可根據客戶要求定制不同尺寸)

 

型號

規格(mm

支撐數量

面板厚度

臺面厚度

螺紋孔/孔距

ZI-QF-06-06

600x600x800

4

6mm

50mm

M6/25X25mm

ZI-QF-075-075

750x750x800

4

6mm

50mm

M6/25X25mm

ZI-QF-09-06

900x600x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-10-08

1000x800x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-12-08

1200x800x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-12-09

1200x900x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-15-09

1500x900x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-16-10

1600x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-15-12

1500x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-18-10

1800x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-18-12

1800x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-20-10

2000x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-20-12

2000x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-24-12

2400x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-30-12

3000x1200x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-30-15

3000x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-35-15

3500x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-40-15

4000x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-50-15

5000x1500x800

10

10mm

300mm

M6/25X25mm

ZI-QF-60-15

6000x1500x800

12

10mm

300mm

M6/25X25mm

 

實際安裝案例:

To One氣浮隔震光學平臺安裝案例1.pngTo One氣浮隔震光學平臺安裝案例2.pngTo One氣浮隔震光學平臺安裝案例3.png


至一科技主動主動隔震系統,桌上型主動隔震臺,桌上型被動隔震臺,桌上型氣浮隔震臺,被動減震器......

廣泛應用于電子顯微鏡、顯微鏡、半導體設備(光刻機、晶圓測試儀)、激光設備、原子力顯微鏡、干涉儀、輪廓儀等等

ArisMD主動隔震系統安裝案例.png
圖1:ArisMD主動隔震系統安裝案例(主要應用于電子顯微鏡、半導體設備)
ArisTT主動隔震臺安裝案例.png
圖2:ArisTT主動隔震臺安裝案例(主要應用于AFM、干涉儀、桌上型電鏡)
SotoTT被動隔震臺安裝案例.png
圖3:SotoTT被動隔震臺安裝案例(主要應用于顯微鏡、電子天平、激光設備、半導體測試測試設備)

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